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3月10日，鼎龍股份（300054）公告，控股子公司武漢鼎澤新材料技術(shù)有限公司的氧化鋁拋光液產(chǎn)品在某家公司28nm節(jié)點(diǎn)HKMG工藝的Al CMP制程驗(yàn)證通過。

鼎龍股份：氧化鋁拋光液通過客戶端28nm節(jié)點(diǎn)HKMG驗(yàn)證并開啟計(jì)劃采購
圖源 鼎龍控股
鼎龍稱，該產(chǎn)品使用氧化鋁研磨粒子和高分子聚合物，是所有拋光液中技術(shù)最難的關(guān)鍵材料，公司已突破技術(shù)難關(guān)，實(shí)現(xiàn)三種關(guān)鍵材料的自主制備。該款搭載公司自制研磨粒子的拋光液產(chǎn)品，是目前尚未取得國產(chǎn)化材料突破的卡脖子拋光液型號之一，難度極高，其各項(xiàng)參數(shù)均達(dá)到客戶應(yīng)用要求，通過客戶端全方面工藝參數(shù)驗(yàn)證，并已進(jìn)入噸級采購階段。
鼎龍股份：氧化鋁拋光液通過客戶端28nm節(jié)點(diǎn)HKMG驗(yàn)證并開啟計(jì)劃采購
據(jù)公告，鼎龍各制程拋光液在各個主流廠商的驗(yàn)證評價和市場推廣工作已全面展開，部分客戶的初步評價已經(jīng)獲得了客戶端極好的評價結(jié)果。產(chǎn)能建設(shè)方面，武漢本部工廠一期全自動化拋光液生產(chǎn)車間已經(jīng)建成，具備年產(chǎn)5000噸拋光液的生產(chǎn)能力，能夠滿足客戶端訂單需求。公司將根據(jù)市場情況盡快研究部署二期產(chǎn)能建設(shè)。

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作者 li, meiyong

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