全氟醚橡膠(FFKM)是一種完全不含C-H鍵的氟橡膠,在介質(zhì)腐蝕、高溫、高壓、輻射環(huán)境等苛刻條件下,只有全氟醚橡膠才能適應(yīng),因此,在安全和維護(hù)要求嚴(yán)格的半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置中大顯身手。
圖? 全氟醚橡膠分子結(jié)構(gòu)
由于在半導(dǎo)體制造中,停產(chǎn)更換密封件代價(jià)極高,半導(dǎo)體行業(yè)的密封件和墊圈需要非同尋常的材料。而全氟醚橡膠的高純度和對(duì)等離子體、熱和刺激性化學(xué)品的極高耐受性為半導(dǎo)體制造如等離子處理、熱處理及濕法工藝等生產(chǎn)裝置的密封提供了出色解決方案,可延長密封壽命,減少污染,進(jìn)而提高晶圓產(chǎn)量,降低生產(chǎn)成本。而全氟醚橡膠唯一的缺點(diǎn)就是價(jià)格太高,市場價(jià)約3~5萬元/kg。
圖? 全氟醚橡膠用于半導(dǎo)體,來源:成都道弘
在前文《全氟醚橡膠在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用》中,我們?yōu)榇蠹医榻B了全氟醚橡膠的性能特點(diǎn)及其在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用,全氟醚橡膠絕大多數(shù)被制成密封件,如O型圈、墊圈等產(chǎn)品,應(yīng)用于泵、機(jī)械密封、閥門的閥座、連接密封件等高溫、強(qiáng)腐蝕的使用環(huán)境下。今天我們就來認(rèn)識(shí)一下全氟醚橡膠的生產(chǎn)企業(yè)。
圖源:Trelleborg
1.杜邦DuPont
?
官網(wǎng):https://www.dupont.com/
商品名:Kalrez?
美國杜邦公司于1968年首次研發(fā)成功全氟醚橡膠,并在1975年以Kalrez?作為商品名投入商業(yè)化應(yīng)用。目前杜邦仍是全球主要的全氟醚橡膠供應(yīng)商。
2.3M
?
官網(wǎng):https://www.3m.com.cn/
商品名:Dyneon?
3M提供各式各樣的氟橡膠產(chǎn)品系列,適用于關(guān)鍵的密封和防漏應(yīng)用。3M? Dyneon? 全氟醚橡膠的高純度和對(duì)等離子體、熱和刺激性化學(xué)品的耐受性為半導(dǎo)體制造或子制造工藝提供出色解決方案。
3.索爾維
官網(wǎng):https://www.solvay.com/
商品名:Tecnoflon?
索爾維全氟橡膠Tecnoflon? PFR兼具高純度、耐化學(xué)腐蝕性、優(yōu)異的機(jī)械和密封性能,可用于如腔室、蓋、窗、氣體入口、配件和唇型密封圈,以及縱切閥、各種晶片傳送部件等關(guān)鍵應(yīng)用。
4.大金工業(yè)株式會(huì)社
官網(wǎng):https://www.daikin.com/
商品名:DAI-EL
日本大金于1970年上市氟橡膠DAI-EL,產(chǎn)品組合涵蓋全系列雙酚和過氧化物硫化的共聚物和三元共聚物,包括低溫FKM以及全氟橡膠 (FFKM)等。DAI-EL全氟彈性體在熱水環(huán)境中長期暴露具有出色的耐受性,可用于半導(dǎo)體密封等領(lǐng)域。由原料生產(chǎn),成型加工到包裝,大金工業(yè)開發(fā)的全氟O型圈DUPRA,由關(guān)聯(lián)公司東邦化成株式會(huì)社生產(chǎn)。
5.AGC
官網(wǎng):https://www.agc.com/
商品名:AFLAS?
AGC 于1975 年推出了氟橡膠品牌 AFLAS?。2017年,AGC推出了AFLAS? FFKM系列,是以四氟乙烯(C2F4)和全氟烷基乙烯基醚(C2F3-ORf)為主要成分的全氟橡膠共聚物產(chǎn)品。
6.中昊晨光化工研究院有限公司
官網(wǎng):http://www.chenguang.cn/
中昊晨光化工研究院始建于1965年,現(xiàn)隸屬中國昊華化工(集團(tuán))總公司,主要從事有機(jī)氟、有機(jī)硅等新型高分子材料的研發(fā)、生產(chǎn)和經(jīng)營。研發(fā)有全氟醚橡膠系列產(chǎn)品:FFKM-G80X系列。
項(xiàng)目 |
指標(biāo) |
|||||
FFKM-G802 |
FFKM-G803 |
FFKM-G804 |
FFKM-G806 |
|||
生膠 |
門尼 |
MU(1+10min·121℃) |
20 |
30 |
40 |
≥45 |
密度 |
g/cm3(20℃) |
2.05 |
2.05 |
2.05 |
2.05 |
|
氟含量 |
% |
72 |
72 |
72 |
72 |
|
硫化膠 |
拉伸強(qiáng)度 |
Mpa |
18 |
18 |
18 |
18 |
伸長率 |
% |
110 |
110 |
110 |
110 |
|
硬度 |
Ha |
90 |
90 |
90 |
90 |
|
永久壓縮變形 |
200℃×70h,% |
35 |
35 |
35 |
35 |
7.俄羅斯列別捷夫合成橡膠研究所 FSUE“ISR”
官網(wǎng):https://fgupniisk.ru/
俄羅斯列別捷夫合成橡膠研究所是俄羅斯橡膠和乳膠領(lǐng)域基礎(chǔ)和應(yīng)用研究最大和最重要的研究中心,可試驗(yàn)生產(chǎn)全氟醚低溫氟橡膠(可適用于-80℃環(huán)境)。
8.?成都道弘實(shí)業(yè)有限公司
官網(wǎng):http://www.dowhon.com/
商品名:Dowhon?
成都道弘實(shí)業(yè)有限公司成立于2002年,是國內(nèi)外知名的氟橡膠預(yù)混膠、氟橡膠混煉膠專業(yè)生產(chǎn)廠家。其控股公司四川弘芯氟醚科技有限公司專業(yè)生產(chǎn)全氟醚橡膠及制品。道弘混煉膠生產(chǎn)線數(shù)10條,生產(chǎn)能力超過8000噸,擁有一個(gè)1萬級(jí)高潔凈生產(chǎn)車間專業(yè)生產(chǎn)半導(dǎo)體、軍工用全氟醚橡膠及制品。并生產(chǎn)全氟醚O型圈Honseal?。
9.氟樂泰科(廈門)新材料有限公司
商品名:FLTECHFLON?
官網(wǎng):http://www.fluotechrubber.com/
氟樂泰科(廈門)新材料有限公司致力于給客戶提供技術(shù)創(chuàng)新和高質(zhì)量的特種橡膠混煉產(chǎn)品,主要產(chǎn)品包括:氟橡膠預(yù)混膠、氟橡膠混煉膠、全氟醚橡膠混煉膠、氟硅橡膠和氫化丁腈混煉膠。
10.中綠新材料(江蘇)有限公司
?
官網(wǎng):http://www.lvpoly.com/
中綠新材料(江蘇)有限公司是一家氟混煉膠供應(yīng)商,基于混煉的基礎(chǔ),我們提供氟膠、氟硅膠、氫化丁腈、全氟醚、丁腈膠以及三元乙丙混煉膠。
11.上海道氟實(shí)業(yè)有限公司
?
官網(wǎng):http://www.dawnhon.com/about/
上海道氟實(shí)業(yè)有限公司成立于2000年,是國內(nèi)領(lǐng)先的先進(jìn)材料和特種彈性體混煉膠供應(yīng)商,產(chǎn)品涵蓋氟橡膠、硅橡膠、氟硅橡膠、丙烯酸酯橡膠、氫化丁腈橡膠、全氟聚醚橡膠和氯醇橡膠等特種膠種。
12.上海魯聚聚合物技術(shù)有限公司
官網(wǎng):https://www.lanpoly.com/
魯聚化學(xué)成立于2007年,是國內(nèi)有機(jī)氟類聚合物領(lǐng)域領(lǐng)先企業(yè),總部設(shè)在上海,工廠基地設(shè)于浙江衢州,現(xiàn)有4大類含氟聚合物25種型號(hào),年產(chǎn)能達(dá)3000噸。全氟醚橡膠產(chǎn)品有:PFE9830、PFE9840。
13.成都晨光博達(dá)新材料股份有限公司
官網(wǎng):http://www.cgfse.com/
成都晨光博達(dá)新材料股份有限公司是一家專業(yè)從事氟橡膠、全氟醚氟橡膠、氟硅橡膠和全氟聚醚及環(huán)保型含氟表面活性劑等氟精細(xì)化學(xué)品研發(fā)生產(chǎn)的企業(yè)??商峁?yīng)用于特殊要求的全氟混煉膠BDFF系列。
?
14.上海創(chuàng)奇特種橡膠制品有限公司
?
官網(wǎng):http://www.shseal.com/
上海創(chuàng)奇特種橡膠制品有限公司前身是上海華明橡塑制品廠,公司成立于1988年。專業(yè)從事高性能氟橡膠、硅橡膠系列產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。其中氟橡膠產(chǎn)品年產(chǎn)量超過200噸,是國內(nèi)氟橡膠制品生產(chǎn)的領(lǐng)導(dǎo)者。
15.長欣膠業(yè)(上海)有限公司
?
官網(wǎng):http://www.cxrubber.com/
長欣膠業(yè)(上海)有限公司是由美國Rotek International Group L.L.C.于2003年8月在上海市松江區(qū)投資設(shè)立的外商獨(dú)資企業(yè),從事氟素橡膠、硅膠等合成橡膠及混煉膠相關(guān)產(chǎn)品的開發(fā)、生產(chǎn)、加工,可提供全氟混煉膠。
16.孚瑞科技有限公司
?
官網(wǎng):https://www.fluorez.com.tw/
商品名:Varion?
孚瑞科技產(chǎn)品包含全氟橡膠(FFKM)的混煉膠與全氟橡膠標(biāo)準(zhǔn)O型圈。孚瑞科技開發(fā)了一系列的全氟橡膠FFKM混煉膠,適用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)與化工產(chǎn)業(yè)等有抗溫耐化的特殊需求,以自有品牌Varion?進(jìn)行銷售。
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