晶升股份公司于2018 年開始布局碳化硅領(lǐng)域，積極開展碳化硅晶體生長設(shè)備相關(guān)的技術(shù)研究與創(chuàng)新，經(jīng)過多年的技術(shù)積淀，已具備滿足客戶定制化需求的技術(shù)積累?，F(xiàn)公司已向多家客戶交付了8英寸碳化硅長晶設(shè)備，部分客戶已經(jīng)取得了一定的研發(fā)成果，并正在不斷優(yōu)化工藝制程。
公司自研8英寸碳化硅長晶設(shè)備，突破大尺寸晶體生長的關(guān)鍵技術(shù)，可實現(xiàn)檢漏、洗爐、長晶等全過程的自動運行，流量、溫度、壓力參數(shù)的精確控制，軸向徑向溫梯的控制分離。另外設(shè)備具有獨特的結(jié)構(gòu)設(shè)計，可方便后期維護與裝料卸料，提高熱場壽命和工作效率，進一步滿足客戶實現(xiàn)低成本、高良率的晶體生長需要。
8英寸碳化硅長晶設(shè)備出貨中