襯底是指沿特定的結(jié)晶方向?qū)⒕w切割、研磨、拋光，得到具有特定晶面和適當(dāng)電學(xué)、光學(xué)和機(jī)械特性，用于生長外延層的潔凈單晶圓薄片。碳化硅襯底是新近發(fā)展的寬禁帶半導(dǎo)體的核心材料，以其制作的器件具有耐高溫、耐高壓、高頻、大功率、抗輻射等特點(diǎn)，具有開關(guān)速度快、效率高的優(yōu)勢，可大幅降低產(chǎn)品功耗、提高能量轉(zhuǎn)換效率并減小產(chǎn)品體積。
圖? 8英寸碳化硅襯底，來源：山西爍科
在碳化硅SiC半導(dǎo)體行業(yè)三個(gè)重點(diǎn)環(huán)節(jié)（襯底、外延和器件）中，襯底是SiC產(chǎn)業(yè)鏈的核心，不僅價(jià)值量占比最高，接近50%；而且技術(shù)壁壘最高。襯底行業(yè)的發(fā)展也是未來SiC產(chǎn)業(yè)降本、大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化的主要驅(qū)動(dòng)力。
最近幾日，各大企業(yè)紛紛簽約、布局，驅(qū)動(dòng)著碳化硅襯底產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展。?
在魯信創(chuàng)投積極對(duì)接關(guān)鍵材料提供方及上下游供應(yīng)商的助力下，南砂晶圓濟(jì)南項(xiàng)目中高達(dá)99%的原材料、95%的主要生產(chǎn)設(shè)備將實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化，達(dá)到行業(yè)領(lǐng)先水平。
3月18日，浙江麗水云和縣人民政府與上海百豪新材料公司、北京世宇企業(yè)管理有限公司簽訂大尺寸碳化硅單晶襯底產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目意向合作協(xié)議。
據(jù)企查查顯示，百豪新材成立于2018年，是上海白克生物科技股份有限公司的全資子公司。另外百可生物在麗水開發(fā)區(qū)注冊成立浙江百可半導(dǎo)體材料有限公司，規(guī)劃半導(dǎo)體材料生產(chǎn)基地。
值得一提的是，去年9月26日，云和縣人民政府與深圳嘉力豐正投資發(fā)展有限公司簽約的特色工藝晶圓制造項(xiàng)目在今年2月奠基，正持續(xù)推進(jìn)。項(xiàng)目依托嘉力豐正的半導(dǎo)體材料前沿技術(shù)，在云和投資生產(chǎn)6英寸和8英寸的碳化硅、化晶圓片，共分2個(gè)階段建設(shè)。（來源：集微網(wǎng)、麗水發(fā)布）
近日，據(jù)“科友半導(dǎo)體”官微宣布，成功拿下超2億元的出口歐洲長訂單之后，順利通過“國際汽車特別工作組質(zhì)量管理體系”（IATF16949）認(rèn)證，獲得進(jìn)軍國內(nèi)新能源汽車芯片襯底百億級(jí)規(guī)模市場“通行證”。
科友首批8英寸碳化硅襯底
2023年9月，科友半導(dǎo)體襯底加工生產(chǎn)線建成；10月，首批8英寸碳化硅襯底下線；目前，年產(chǎn)能穩(wěn)步擴(kuò)充到數(shù)千片。科友半導(dǎo)體開發(fā)的8英寸碳化硅材料裝備及工藝被中國電子學(xué)會(huì)組織的專家委員會(huì)評(píng)為“國內(nèi)領(lǐng)先、國際先進(jìn)水平”，是國內(nèi)首家基于電阻式長晶爐制備獲得8英寸碳化硅單晶的企業(yè)。截止到2023年12月底，科友半導(dǎo)體實(shí)現(xiàn)銷售定單逾6億元人民幣，實(shí)現(xiàn)“當(dāng)年投產(chǎn)即當(dāng)年量產(chǎn)”。
近日，據(jù)“中科創(chuàng)星”官微消息，安儲(chǔ)科技宣布已完成Pre-A輪融資，本輪融資由中科創(chuàng)星領(lǐng)投，天匯資本和張家港智慧創(chuàng)投跟投。資金將用于產(chǎn)能擴(kuò)建與設(shè)備研發(fā)。
安儲(chǔ)科技成立于2020年，專注于先進(jìn)電子材料研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，主營產(chǎn)品為配方型功能電子化學(xué)品（如拋光液、清洗液， 濕法刻蝕液， 光刻膠剝離液等）以及電子特氣安全存儲(chǔ)負(fù)壓鋼瓶兩大產(chǎn)品系列。
在碳化硅襯底拋光液方面，目前Fujimi、Ferro、卡博特（Cabot）、圣戈班（Saint-Gobain）等國際廠商占據(jù)全球大部分市場，這些廠商普遍采用氧化鋁作為研磨顆粒。
安儲(chǔ)科技則采用金屬氧化物作為研磨顆粒，其ACTL-WS系列拋光液不僅擁有較高的拋光速率，同時(shí)可獲得低表面粗糙度，低缺陷的晶圓表面。而且拋光液可以循環(huán)使用，降低客戶使用成本。
另外，碳化硅襯底拋光后機(jī)臺(tái)拋光墊清洗液方面，「安儲(chǔ)科技」開發(fā)的PK系列拋光后機(jī)臺(tái)拋光墊清洗液可以有效的清洗拋光后殘留物，清洗性能優(yōu)異，清洗時(shí)間短，并可稀釋使用，降低客戶成本。
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