晶瑞電材從事超凈高純試劑的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售近 20 年，是國內(nèi)目前主要的超凈高純試劑企業(yè)之一。其超凈高純試劑水平先進(jìn)，多款產(chǎn)品達(dá)到 G4 等級，其中超凈高純雙氧水、超凈高純硫酸、超凈高純氨水三大類產(chǎn)品已實現(xiàn)整體技術(shù)突破，達(dá)到 G5 等級。
SEMI Grade5 標(biāo)準(zhǔn)
適用于：14納米以上集成電路加工工藝
其控股子公司南通陽恒化工正建設(shè)9萬噸超大規(guī)模集成電路用半導(dǎo)體高純硫酸項目，該項目一期的3萬噸已正式投產(chǎn)，現(xiàn)正進(jìn)行二期6萬噸的建設(shè)。
據(jù)介紹，目前，晶瑞電材的半導(dǎo)體高純硫酸已獲得部分主流客戶的批量采購，其余部分主流客戶的認(rèn)證、測試工作正在有序開展中。
| 品名 | 產(chǎn)品應(yīng)用 |
| 雙氧水 | 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體前道濕法清洗工藝，包括顆粒、金 屬雜質(zhì)和有機物殘留的清洗 |
| 硫酸 | 應(yīng)用于半導(dǎo)體前道光刻膠剝離和有機物殘留的清洗 |
| 氨水 | 應(yīng)用于半導(dǎo)體前道particle及polymer的清洗 |
| BOE | 應(yīng)用于半導(dǎo)體前道氧化硅的濕法蝕刻工藝 |
| 硝酸 | 應(yīng)用于半導(dǎo)體前道硅蝕刻液及晶圓回收清洗 |
| 鹽酸 | 應(yīng)用于半導(dǎo)體前道金屬雜質(zhì)的清洗去除 |
| TMAH | 應(yīng)用于半導(dǎo)體前道光刻膠顯影劑和硅減薄工藝 |
原文始發(fā)于微信公眾號（艾邦半導(dǎo)體網(wǎng)）：晶瑞電材半導(dǎo)體高純電子硫酸面向12寸芯片廠批量出貨