據(jù)媒體報道，半導(dǎo)體設(shè)備廠京鼎成功跨入EUV光罩自動化領(lǐng)域，3奈米半導(dǎo)體制程自動化惰性氣體充填設(shè)備及層流氣簾潔凈方案通過客戶驗(yàn)證。
瞄準(zhǔn)極紫外光（EUV）將在5奈米后成為曝光制程主流，京鼎延伸擴(kuò)展高潔凈自動化設(shè)備研發(fā)技術(shù)，以精密定位精度與制程微環(huán)境監(jiān)控技術(shù)，開發(fā)EUV光罩護(hù)膜貼合機(jī)，通過客戶制程驗(yàn)證，成功跨入EUV光罩自動化領(lǐng)域。
京鼎董事長劉揚(yáng)偉在致股東報告書中，宣布多項研發(fā)成果，5奈米半導(dǎo)體制程自動化惰性氣體充填設(shè)備及層流氣簾潔凈方案皆已量產(chǎn)并大量裝機(jī)，3奈米的半導(dǎo)體制程自動化惰性氣體充填設(shè)備及層流氣簾潔凈方案也順利通過客戶驗(yàn)證。
劉揚(yáng)偉指出，京鼎的機(jī)能水生成設(shè)備，完成5奈米制程量產(chǎn)，并導(dǎo)入3奈米制程驗(yàn)證。標(biāo)準(zhǔn)型半導(dǎo)體晶圓分揀機(jī)，以及先進(jìn)封裝制程復(fù)合式晶圓堆棧盒包裝拆包、分揀設(shè)備，陸續(xù)獲得晶圓制造及封測大廠采用。
劉揚(yáng)偉表示，受惠市場轉(zhuǎn)趨熱絡(luò)，原客戶的訂單數(shù)量增加，加上開發(fā)新產(chǎn)品及新客戶，擴(kuò)大市場占有率，預(yù)期今年銷售量將持續(xù)成長。
原文始發(fā)于微信公眾號（艾邦半導(dǎo)體網(wǎng)）：京鼎搶進(jìn)EUV光罩自動化，3奈米方案通過客戶驗(yàn)證