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近年來,面對持續(xù)的“芯片短缺”
同時,疫情下眾多產(chǎn)業(yè)向數(shù)字化轉(zhuǎn)型
下游汽車、電子、5G等多領(lǐng)域的旺盛需求
使芯片需求不斷高漲
半導(dǎo)體材料的需求也“水漲船高”
行業(yè)生產(chǎn)迎來高難度挑戰(zhàn)

看索爾維如何突破創(chuàng)新

迎“難”而上

索爾維高性能特種聚合物,致力滿足半導(dǎo)體工藝挑戰(zhàn)與需求
索爾維高性能特種聚合物,致力滿足半導(dǎo)體工藝挑戰(zhàn)與需求

出于物理極限和制造成本的原因,先進(jìn)工藝技術(shù)讓芯片的體積不斷突破想象,從5納米到3納米,甚至2納米時,有如半導(dǎo)體行業(yè)燈塔般的“摩爾定律”已然失效。

索爾維高性能特種聚合物,致力滿足半導(dǎo)體工藝挑戰(zhàn)與需求

工業(yè)界已達(dá)成新的共識:在功耗、性能、面積和成本等方面達(dá)成的折衷,已經(jīng)難以為繼。

于是,一條不再是直線的IC技術(shù)發(fā)展路線,以及市場對創(chuàng)新解決方案的迫切需求,將封裝(尤其是先進(jìn)封裝技術(shù))推向了創(chuàng)新的最前沿。“先進(jìn)封裝”的提出,是對技術(shù)的新要求,也是對封裝工藝中材料和設(shè)備的全新考驗(yàn)。

索爾維高性能特種聚合物,致力滿足半導(dǎo)體工藝挑戰(zhàn)與需求

半導(dǎo)體材料猶如支撐半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈條中的重要“血脈”,是晶圓制造和封測環(huán)節(jié)中必不可少的產(chǎn)品。

晶圓的制造對于顆粒和金屬含量有非常高的純度要求。

索爾維高性能特種聚合物,致力滿足半導(dǎo)體工藝挑戰(zhàn)與需求

舉例來說,一片12寸晶圓上,10納米量級的顆粒不能超過3-4顆;5納米節(jié)點(diǎn)下,金屬含量不能超過28 PPB。顆粒和金屬含量對于整個晶圓和芯片來說,就如滄海一粟,如此高的要求,為半導(dǎo)體材料行業(yè)設(shè)置了一個非常高的門檻。

同時,半導(dǎo)體制造的過程中需要用到一些高純度化學(xué)品,這樣就對加工配件、管路輸送儲存的材料提出了耐腐蝕、耐化學(xué)品的超高要求。半導(dǎo)體制造亟需最高純度和質(zhì)量的創(chuàng)新材料,滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)的嚴(yán)苛要求,進(jìn)一步提升器件能量利用效率,從而打造具有領(lǐng)先技術(shù)的下一代電子產(chǎn)品。

索爾維高性能特種聚合物,致力滿足半導(dǎo)體工藝挑戰(zhàn)與需求

作為高性能聚合物研究、開發(fā)和制造領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)者,索爾維高性能聚合物的產(chǎn)品設(shè)計(jì)致力于滿足時下半導(dǎo)體工藝最具挑戰(zhàn)的需求,可在生產(chǎn)線前端、生產(chǎn)線后端測試和組裝方面實(shí)現(xiàn)最佳性能,助力制造商發(fā)揮芯片性能的極限。

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?“上分”點(diǎn)·1??

與時俱進(jìn)的化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)材料

在半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵步驟之一——“化學(xué)機(jī)械研磨”工藝中,索爾維以創(chuàng)新材料不斷改進(jìn)現(xiàn)代工藝,為結(jié)構(gòu)組件、保持環(huán)、研磨墊、化學(xué)品輸送系統(tǒng)和漿料磨料提供優(yōu)越的機(jī)械性能、耐化學(xué)性和純度。

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?“上分”點(diǎn)·2??

環(huán)保、高效的干/濕法蝕刻和清潔材料

在干法蝕刻和干洗工藝中,索爾維的先進(jìn)聚合物材料能夠承受溫度波動下的腐蝕性化學(xué)和等離子環(huán)境。

索爾維高性能特種聚合物,致力滿足半導(dǎo)體工藝挑戰(zhàn)與需求

在濕法蝕刻中,半導(dǎo)體材料去除后的表面清潔至關(guān)重要。索爾維應(yīng)用于O型圈、密封件、結(jié)構(gòu)件和超純水管道系統(tǒng)的先進(jìn)聚合物,不僅為半導(dǎo)體制造商提供高性能解決方案,而且這些聚合物還改進(jìn)了濕法工藝設(shè)備、化學(xué)品輸送系統(tǒng)、過濾器、閥門、接頭等。

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?“上分”點(diǎn)·3??

卓越、清潔的晶圓制造、傳輸設(shè)備

和排氣管道涂層

索爾維的專業(yè)解決方案讓制造商能夠生產(chǎn)清潔、可靠的晶圓處理部件,制造商通過這些部件,在整個制造過程中運(yùn)輸并“守護(hù)”寶貴而脆弱的晶圓。

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在半導(dǎo)體制造過程中,一般會使用非常多的強(qiáng)化學(xué)物質(zhì),這些化學(xué)品需要得到安全管理。索爾維材料能夠?yàn)榘雽?dǎo)體工藝中的管道和其他設(shè)備提供最佳涂層性能,從而更好地管理強(qiáng)化學(xué)物質(zhì)的運(yùn)輸和處理。

索爾維高性能特種聚合物,致力滿足半導(dǎo)體工藝挑戰(zhàn)與需求

同時,半導(dǎo)體的清潔過程和控制過程需要大量的超純水,索爾維助力客戶制造超純管道、過濾器和管道系統(tǒng)。

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?“上分”點(diǎn)·4??

耐用封裝材料與精確的測試材料

索爾維不僅提供高性能材料產(chǎn)品,同時還提供了市場上一些最堅(jiān)固、最耐用和最具成本效益的封裝材料,助力下游客戶制造尺寸和熱穩(wěn)定性以及出色的耐磨性、抗蠕變性和耐化學(xué)性的封裝部件。

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此外,索爾維在半導(dǎo)體探測和測試領(lǐng)域也獨(dú)樹一幟,不斷突破創(chuàng)新,為制造商的探測系統(tǒng)提供了獨(dú)特的性能和耐用性等優(yōu)勢。憑借先進(jìn)的尺寸穩(wěn)定性和對惡劣條件的耐受性,索爾維的特種聚合物解決方案也為半導(dǎo)體測試行業(yè)解決了各種復(fù)雜問題。

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?“上分”點(diǎn)·5??

兼具惰性和高性能的導(dǎo)熱液和真空泵油

導(dǎo)熱液和真空泵油作為兩種重要的材料,在半導(dǎo)體工藝流程各個環(huán)節(jié)內(nèi)都起到了重要的作用。

索爾維高性能特種聚合物,致力滿足半導(dǎo)體工藝挑戰(zhàn)與需求

索爾維Galden? HT PFPE和Fomblin? PFPE擁有惰性和耐化學(xué)性等一系列優(yōu)異的特性,能更好、更穩(wěn)定地進(jìn)行導(dǎo)熱和潤滑協(xié)作。

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面對行業(yè)挑戰(zhàn)難題,對客戶的負(fù)責(zé)以及對半導(dǎo)體材料生產(chǎn)的嚴(yán)謹(jǐn)創(chuàng)新,才是索爾維打破行業(yè)挑戰(zhàn)最有力的“武器”!

原文始發(fā)于微信公眾號(索爾維Solvay):索爾維高性能特種聚合物,致力滿足半導(dǎo)體工藝挑戰(zhàn)與需求

作者 ab, 808

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