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12月16日,通用智能裝備有限公司SiC晶錠8寸剝離產(chǎn)線正式交付客戶(hù)!

國(guó)內(nèi)首條!通用智能sic晶錠8寸線剝離量產(chǎn)設(shè)備交付客戶(hù)

碳化硅由于其高硬度,高脆性特點(diǎn),在SiC 器件制造領(lǐng)域存在一個(gè)瓶頸:晶錠分割工藝過(guò)程。目前,SiC晶錠主要通過(guò)砂漿線/金剛石線切割,效率低和損耗高。通用智能采用激光隱切技術(shù)完成SiC晶錠分割工藝過(guò)程,并成功實(shí)現(xiàn)8寸碳化硅晶錠剝離設(shè)備的量產(chǎn)。

國(guó)內(nèi)首條!通用智能sic晶錠8寸線剝離量產(chǎn)設(shè)備交付客戶(hù)

年,碳化硅(SiC)功率器件在大功率半導(dǎo)體市場(chǎng)中的份額不斷增加,并被用于一系列應(yīng)用,如新能源車(chē)輛和城市軌道交通,風(fēng)力發(fā)電,高速移動(dòng)通訊,loT等。?

通用智能裝備有限公司,業(yè)界領(lǐng)軍企業(yè),近日再次創(chuàng)下歷史新高,其自主研發(fā)的8寸SiC晶錠剝離產(chǎn)線已正式交付客戶(hù)。這一重大突破標(biāo)志著我國(guó)在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域取得了重要進(jìn)展,也意味著通用智能裝備有限公司成為了國(guó)內(nèi)第一家能夠提供此類(lèi)高端產(chǎn)品的公司。

來(lái)源:通用智能公眾號(hào)

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作者 li, meiyong

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