據(jù)外媒報(bào)道，LG化學(xué)開始開發(fā)用于半導(dǎo)體后端工藝的光刻膠 (PR)，目標(biāo)是向全球半導(dǎo)體公司供應(yīng)這些光刻膠。為了提高芯片性能，他們在半導(dǎo)體前端工藝上雕刻超精細(xì)電路圖案后，正在開發(fā)用于后端工藝的PR。
據(jù)了解，LG化學(xué)最近開始與一家全球半導(dǎo)體公司合作開發(fā)后端工藝PR。一位材料行業(yè)負(fù)責(zé)人表示：“LG 化學(xué)其先進(jìn)材料部門已投入到半導(dǎo)體后端工藝 PR 技術(shù)的開發(fā)中?；谒麄冊诎雽?dǎo)體后端工藝薄膜材料技術(shù)方面的專業(yè)知識，他們正在加快PR的研發(fā)速度。”
在韓國國內(nèi)市場，LG 化學(xué)已經(jīng)成功實(shí)現(xiàn)了半導(dǎo)體全工藝關(guān)鍵材料——極紫外（EUV）PR的國產(chǎn)化，目前正在繼續(xù)開發(fā)半導(dǎo)體后端工藝的PR。韓國企業(yè)正在積極進(jìn)入以日本為首的公關(guān)市場。韓國企業(yè)正在積極進(jìn)入以日本為首的光刻膠市場。
考慮到LG化學(xué)仍處于開發(fā)的早期階段，預(yù)計(jì)還需要一些時(shí)間，在現(xiàn)有材料開發(fā)成果的基礎(chǔ)上加快開發(fā)供應(yīng)。
信息來源：Etnews
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原文始發(fā)于微信公眾號（艾邦半導(dǎo)體網(wǎng)）：LG化學(xué)計(jì)劃開發(fā)半導(dǎo)體后端工藝光刻膠